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新款中走丝-大而薄的极板-仁光智能
栏目:中走丝线切割资讯 发布时间:2020-10-22 作者: 仁光智能小陈 来源: 网络 浏览量: 437
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新款中走丝,这4个设计参数之间不是彼此孤立的,而是相互联系相互影响。单纯利用改进传感器结构来提高小量程传感器的输出电容是有限的。如果电路灵敏度不高,则小电容信号很有可能湮没在噪声信号中

新款中走丝4个设计参数之间不是彼此孤立的,而是相互联系相互影响。单纯利用改进传感器结构来提高小量程传感器的输出电容是有限的。如果电路灵敏度不高,则小电容信号很有可能湮没在噪声信号中。因此,对测量电路的优化也是实现MEMS电容式传感器小量程测压必不可少的一步。

新款中走丝


新款中走丝大而薄的极板不仅使传感器的初始电容C0增大,而且使可动极板在受到相同压力时产生更大的形变,从而使传感器的电容输出值增大。但又大又薄的极板会导致器件的线性性能恶化,同时与MEMS微型化的设计理念相违背。而且,太薄的极板太脆易碎。

新款中走丝


新款中走丝极板间距的减小也可以显著提高C0。但当极板间距很小时,传感器的动态范围不仅过窄,而且空腔内任何微量气体的存在都会影响传感器性能,因此传感器空腔的真空度必须非常高。

新款中走丝

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